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ウェハ解析

シリコンウェハ解析

解析装置解析内容サイズ
SEMSEM観察個片
EDX分析(点/面分析)個片
STEMSTEM観察個片
EDX分析(点/面分析)個片
FIB断面加工個片
エミッション/IR-OBIRCH表面/裏面 端子解析6/8インチ

欠陥解析

解析装置解析内容サイズ
光学式欠陥検査装置欠陥検査、レビュー、EDX分析8インチ
暗視野式欠陥検査装置欠陥検査、レビュー、EDX分析8インチ

具体的内容につきましては、ご相談ください。

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