半導体工場の内部をご紹介

ラピスセミコンダクタ宮城は半導体を生み出す工場です。みなさまの身近にある電化製品やインフラなど、社会にとって必要不可欠な機器に組み込まれている半導体を生産しています。
少量多品種生産を得意とし、多くの製造プロセスを保有。 独自の生産管理システムにより、日本のみならず海外のお客様にも安定的に商品をお届してしています。

  • 工場紹介

  • レイアウト

最先端のエレクトロニクスを創造する工場

工場内は、塵埃管理のみならず温度や湿度が一定に保たれた中で、厳しい品質管理のもと行われています。ラピスセミコンダクタ宮城の最先端の工場の内部をご紹介します。

S2棟の温湿度管理

クリーンルームは、専用の部材で、壁・天井・床材を構成して、HEPA フィルタを通過した清浄な空気を絶えず供給して室内を循環させています。室圧を陽圧に保つため、外気を一部取り入れています。

※HEPA フィルタ : 超高性能フィルタ

S2 棟の清浄度

清浄度

Fed 規格 : クラス10 のクリーンルームです。クラス10 のクリーンルームは自然界には存在しないレベルの清浄度です。


清浄度の維持

S2 棟で生産しているLSI の、最小の線幅は0.1μm です。線幅と同程度の大きさの塵埃が付着すると、パターン不良が発生します。HEPA フィルタ( 超高性能フィルタ) を通過した空気を絶えず供給して清浄な空間を維持しています。

搬送システム

搬送効率・生産効率の高いフィッシュボーン(魚の骨)レイアウトを採用しています。

LSI の製造プロセスに合わせた工場内レイアウト

LSI の製造は、「繰り返し」が基本

LSI は、シリコンウェハ上に素子を形成し、素子間を金属(主にアルミ)で接続することで電子回路を作ります。LSI を製造するための要素技術※を順番に繰り返し使って電子回路を形成します。